光栅的制备方法和光栅

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光栅的制备方法和光栅
申请号:CN202511121542
申请日期:2025-08-11
公开号:CN120847931A
公开日期:2025-10-28
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种光栅的制备方法和光栅,涉及光栅的制备方法技术领域,光栅的制备方法包括:获取金属板的参数;在三维建模软件中创建光栅的三维实体模型;根据光栅的三维实体模型和金属板的参数确定金属板激光蚀刻的加工参数;根据加工参数分析出热变形量,并根据热变形量调整加工参数;根据调整后的加工参数对金属板进行激光蚀刻,以得到光栅。在三维建模软件中创建光栅的三维实体模型,可以设计出多种光栅结构,提高了光栅结构的多样性。通过三维建模和金属板的参数确定出激光蚀刻的加工参数,并基于热变形量调整加工参数,降低了激光蚀刻过程中的热应力畸变,提高了光栅的制备精度。
技术关键词
三维实体模型 三维建模软件 金属板 激光 抛光 参数 蚀刻 光栅结构 雕刻 粗糙度 仿真软件 速度 数据 图案 分辨率 功率 间距 光纤 周期
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