一种半导体芯片冲洗装置及其清洗方法

本发明涉及半导体芯片技术领域，具体为一种半导体芯片冲洗装置及其清洗方法，包括清洗台，所述清洗台中部的内壁设置有清洗架，所述清洗台包括清洗水回收箱，所述清洗水回收箱的后侧固定连接有U型立板，所述U型立板的后侧顶部固定连接有清洁水箱，本发明通过设置有清洗台与清洗架，实现了对晶圆的快速清洗，通过对一个晶圆冲洗的同时对另一个晶圆利用循环水进行预冲洗，有效的提高了清洗效率，并确保了晶圆表面的洁净度，此外，该装置通过传动机构设计，实现了晶圆朝向的快速切换，进一步提升了整体的工作效率，同时，通过清洗水的回收利用设计不仅节约了水资源，还降低了生产成本，符合绿色生产的理念。