一种石英旋转轴垂直度的检测方法及支撑装置

本发明提供一种石英旋转轴垂直度的检测方法及支撑装置。检测方法通过将石英轴主杆中部固定于支撑台使三角架悬空，彻底暴露检测基准面；在主杆两端实施密集点阵采集，中部采用稀疏采集策略；对基准支脚执行全区域采集，其余支脚仅采集关键形变差异点；基于石英材料特性建立形变传递模型重构完整点云。支撑装置采用耐磨强化型V型槽结构，配置热稳定性紧固件及扭矩监测机构；通过楔形滑块实现微米级形变实时修正；设置机械与电子双模水平监测系统，结合多级报警机制保障操作安全。该方法与装置协同突破传统检测的盲区遮挡与精度瓶颈，显著提升测量完整性与效率，装夹稳定性与重复定位精度达到亚微米级，有效适应半导体制造的高精度检测需求。