一种晶圆六面检测设备

本发明提供了一种晶圆六面检测设备，涉及晶圆检测技术领域，包括设备检测平台以及数控龙门桁架，设备检测平台的顶端一侧设置有用于承载待检测样品的上料模组和承载检测后样品的合格下料模组，上料模组和合格下料模组之间设置有上料中转纠偏模组，设备检测平台的顶端另一侧安装有用于对样品进行检测的六面检测模组和用于分离不合格样品的NG下料模组，合格下料模组和NG下料模组之间设置有下料中转纠偏模组，通过上料中转纠偏模组对晶圆进行纠正后，放入检测工位上对晶圆进行六面检测，检测完成后通过下料中转纠偏模组再次纠正，检测合格的晶圆通过合格下料模组有序地摆放到载具内，不合格晶圆则通过NG下料模组进行NG下料处理。