摘要
本发明提供了一种芯片测试分选机,配置测试分选室及设于其内的流转装置,流转装置将中转工位设置于Y向前侧,测试机构设置于中转工位的正后方,配置架空转移机构及至少两层载盘的穿梭移载机构;在中转工位,较高层的载盘相对于较低层的载盘更靠近供收料机构;架空转移机构配置可沿X‑Y‑Z向移动的移动组件,用于芯片和料盘的吸附取放;最少仅需要一个架空转移机构和一个穿梭移载机构配合,即可实现芯片及料盘的全流程流转,大幅度简化了测试分选机的机械结构并降低了造价成本,且转移行程较短,以此节约转移时间,从而提高芯片的测试效率;并且,在运行阶段,供料机构和收料机构的上下料通道为闭合设置,以增强恒温的效能并尽量减少能耗。
技术关键词
芯片测试分选机
流转装置
移载机构
取放组件
测试机构
温控组件
吸附模块
测高传感器
供料机构
制冷单元
移动组件
导向组件
测试模组
工位
收料机构
载盘
X向滑轨
配置制冷系统
真空发生器