晶圆光刻区多目标快响应调度方法与系统

本发明公开了晶圆光刻区多目标快响应调度方法与系统，涉及柔性作业车间非等效并行机调度技术领域，包括采集光刻区历史生产数据，进行标准化处理，生成训练集与验证集，并构建自适应调度智能体，定义调度环境模型，并实时交互生成历史经验数据，采用滑动窗口特征提取机制动态调整多目标权重，通过并行评估框架更新智能体网络参数，利用验证数据集验证智能体模型性能，将验证通过的调度策略部署至实时调度系统，并通过持续监测晶圆到达事件和设备状态触发动态决策。本发明实现了晶圆光刻区调度的智能化、动态化和多目标优化，显著提高了生产效率、资源利用率和准时交货率，增强了系统对动态变化的适应能力。