摘要
本申请涉及半导体技术领域,公开了一种拼版框图布置方法,包括:识别初始版图上所对应的若干个边界标识框图中的目标边界框图;在目标边界框图上融合除目标边界框图之外的边界标识框图,得到目标边界框图上的划片道图形;在划片道图形中的完整划片道区内放置第一标记图形;若干个第二标记图形组成图形矩阵,调整图形矩阵中心与目标边界框图中心的距离小于预设距离阈值后,将若干个第二标记图形放置于目标边界框图中,且若干个第二标记图形分别位于划片道图形的划片道交叉点上,以得到目标版图;合并目标版图和初始版图以形成输出文件,以及检查输出文件并输出检查项结果报告。本申请提高标记图形的布置效率及精度。
技术关键词
布置方法
拼版
标记
版图
坐标系
矩阵
顶点
标识
交叉点
芯片
尺寸
报告
图案
矩形
间距
精度