一种基于反射式离轴数字全息显微技术的玻璃缺陷检测方法及系统

本发明涉及光学检测技术领域，具体为一种基于反射式离轴数字全息显微技术的玻璃缺陷检测方法及系统，包括光源单元、物光调节单元、参考光调节单元、图像处理单元、缺陷定位单元、三维重建单元和主控制单元。本发明具有深度分辨能力：通过全息图重建可获得缺陷的深度信息，实现表面和内部缺陷的区分，定位精度可达微米级，利用干涉测量原理，对纳米级形变和微米级缺陷具有高灵敏度，可检测传统方法难以发现的隐形裂纹，不仅检测缺陷的存在，还能获取缺陷的三维形貌特征，为质量评估提供更全面的数据支持，无需接触样品，避免了对玻璃表面的潜在损伤，适合在线检测应用，采用反射式离轴光路设计，避免了复杂的干涉仪结构，便于工业现场安装和维护。