摘要
本发明涉及位移测量系统,具体涉及一种基于色散补偿的两级色散物镜设计方法、两级色散物镜及光谱共焦位移测量系统,解决了现有色散物镜的分辨率与色散范围相互制约,难以同时提高,导致位移测量系统难以同时具备高测量精度和大测量范围的技术问题。本发明提供的两级色散物镜设计方法中,两级色散物镜采用GRIN光纤进行初级预色散,并结合色散透镜组进行二级色散,实现分级色散调控,进一步扩大色散范围,并补偿GRIN光纤预色散的非线性,提高轴向分辨率;同时,采用XGBoost算法优化色散透镜组的参数,以实现色散控制补偿与优化,平衡色散范围与轴向分辨率。本发明还提供一种光谱共焦位移测量系统,可实现测量范围与测量精度的同时提高。
技术关键词
色散物镜
GRIN光纤
透镜组
色散补偿
弯月形透镜
XGBoost算法
分光镜
光束
反射光
正则化参数
算法模型
波长
间距
分辨率
光谱仪
曲线
凸面