一种针对激光划线的焦点跟随控制方法及装置

本发明涉及激光精密加工技术领域，具体公开一种针对激光划线的焦点跟随控制方法及装置。所述方法包括：通过上位软件设定加工参数并定位双向测距仪；实时采集材料表面高度数据，其中测距仪模拟电压信号与距离值按量化转换关系映射；基于PID算法动态补偿焦点高度偏差；通过总线运动控制卡驱动音圈电机调整聚焦镜位置，电机位移与脉冲按10000脉冲/mm转换；正/反向刻划分别采用独立测距仪数据消除控制滞后误差。装置对应包含双向测距模块、数据处理模块、轴控模块及支持多通道扩展的总线运动控制卡。本发明实现了双向测距结合PID闭环控制，将线宽误差控制在≤20μm；支持24路同步调焦，调焦周期≤10ms，加工速度≥2000mm/s。