焦点漂移补偿方法、激光加工设备、控制器及程序产品

本申请提供一种焦点漂移补偿方法、激光加工设备、控制器及程序产品，涉及激光加工技术领域。方法包括：确定激光加工设备的激光焦点的漂移情况随加工时间变化的焦点漂移温度补偿因子；确定激光焦点的漂移情况随激光加工设备的功率变化的焦点漂移时间补偿因子；根据焦点漂移温度补偿因子和焦点漂移时间补偿因子，确定激光加工设备的焦点漂移补偿值；根据焦点漂移补偿值，对激光加工设备中的目标光学器件在光轴上的位置进行调整。激光加工设备中控制器用于：根据确定的焦点漂移温度补偿因子和焦点漂移时间补偿因子，确定激光加工设备的焦点漂移补偿值；根据焦点漂移补偿值，控制调焦器件对目标光学器件在光轴上的位置进行调整。