一种调节掩膜卷材平整度的系统

本申请提供一种调节掩膜卷材平整度的系统。该系统包括在若干输送辊构成掩膜卷材水平直线传输区域、平整度调节滚轮组、线激光扫描仪和计算处理模块；平整度调节滚轮组的所有滚轮抵压掩膜卷材的分段区域叠加后完全覆盖掩膜卷材的宽度。计算处理模块通过线激光扫描仪持续获取线激光在扫描区掩膜上表面形成反射光带变形图像输入到预先训练好的轻量级二分神经网络以确定扫描区内掩膜卷材的平整度是否合格。当掩膜卷材平整度不合格时，根据扫描区内掩膜卷材上表面的连续横截面轮廓，辅助调节平整度调节滚轮组各滚轮的高度，直至该扫描区内掩膜卷材的平整度合格。本发明提供的技术方案能够在掩膜卷材传输过程中快速平整度，提高掩膜卷材生产的效率。