一种低带宽测试设备的高频信号测试方法

本发明涉及半导体测试技术领域，具体提供了一种低带宽测试设备的高频信号测试方法，包括：获取待测的高频信号，以及对应的标准信号，其中，高频信号的频率与标准信号的频率和波形相同，且高频信号的频率高于测试设备的带宽频率；将高频信号分解成多个频率和波形相同的子信号；对子信号分别以目标频率进行采样，得到对应多组子测试数据，对多组子测试数据进行组合，得到高频信号的测试数据；通过测试数据与标准信号的标准数据进行对比，以测试高频信号。解决了相关技术中半导体测试，由于低带宽对高频测试信号无法进行准确测试的问题。