真空泵气动推力装置、制造方法及真空泵

本申请提供了一种真空泵气动推力装置、制造方法及真空泵。该真空泵包括转子轴、轴承板和深沟球轴承，转子轴穿设于轴承板，深沟球轴承设置于轴承板并支撑转子轴。该真空泵气动推力装置设置于轴承板，真空泵气动推力装置设置有推力部，真空泵气动推力装置设置为能够通过恒定气体压力驱动推力部沿转子轴的轴向移动，以向深沟球轴承施加轴向预紧力，以约束转子轴的轴向位置。该真空泵气动推力装置能够对轴承提供固定的轴向预紧力，从而能够保证转子轴在轴向上的精准位置，保证真空泵的轴向间隙，有助于提高真空泵的运行稳定性和寿命。