一种基于偏振移相的表面形貌测量装置及方法

本发明公开了一种基于偏振移相的表面形貌测量装置及方法，所述装置包括激光模块、偏振分光与干涉模块、偏振合束与成像模块、偏振图像采集模块以及控制与重建模块；激光模块包括单色可调谐激光器、光纤准直放大器和起偏器；偏振分光与干涉模块包括偏振分光棱镜、第一四分之一波片、平面反射镜和第二四分之一波片；偏振合束与成像模块包括偏振分光棱镜、第三四分之一波片和远心镜头；偏振图像采集模块包括微偏振阵列相机和图像处理单元，微偏振阵列相机通过单次曝光同步采集四幅偏振态干涉图像；控制与重建模块通过相位解包裹算法和三维形貌重建得到待测物体表面形貌的测量数据。本发明能够实现高精度、大视场、便携化、高效率的现场检测。