基于微结构优化的导光膜光强分布调控方法及系统

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基于微结构优化的导光膜光强分布调控方法及系统
申请号:CN202511144229
申请日期:2025-08-15
公开号:CN120654578A
公开日期:2025-09-16
类型:发明专利
摘要
本申请涉及基于微结构优化的导光膜光强分布调控方法技术领域,公开了一种基于微结构优化的导光膜光强分布调控方法及系统,旨在解决现有导光膜光强分布固定、优化精度不足及定制困难的问题。该方法包括:构建导光膜模型与目标光强分布图,初始化微结构参数并仿真获取模拟光强分布;计算偏差并将其作为优化算法输入,采用基于梯度引导的粒子群优化算法迭代调整微结构参数,直至满足收敛;将优化后的微结构参数转换为制造指令。通过该方案,本申请可实现导光膜光强分布的逆向高精度定制,显著提升设计效率和光能利用率、均匀性,缩短研发周期。
技术关键词
调控方法 光强 优化微结构 激光直写光刻系统 导光膜 粒子群优化算法 矩阵 偏差 亮度 光提取效率 光照特性参数 标志 分布调控系统 局部面密度 激光直写系统 三维运动轨迹 蒙特卡洛
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