一种基于分布式电容式微机械超声换能器的局部放电检测装置及方法

本发明属于声发射传感器技术领域，公开了一种基于分布式电容式微机械超声换能器的局部放电检测装置及方法，在待检测的变压器的外壳的不同位置布置至少四个电容式微机械超声换能器，通过所述电容式微机械超声换能器实时获取变压器内的超声信号；利用所有电容式微机械超声换能器采集的超声信号的时间信息、超声波在变压器中的传播速度以及各电容式微机械超声换能器的位置信息，计算变压器中局部放电源的位置信息。本发明采用MEMS超声传感器测量变压器的局部放电现象，测量结果准确且能准确判断变压器内部发生局部放电的局部放电源。