摘要
本发明公开了一种超声换能器及制造方法,涉及超声换能器技术领域,其中,超声换能器,包括:柔性板,用于与芯片连接为整体,柔性板表面安设有多个阵元焊盘;多个换能器阵元,换能器阵元覆有导电层,换能器阵元与阵元焊盘一一对应设置;支撑元件,设置在换能器阵元与阵元焊盘之间,支撑元件由具有导电能力的塑性材料制成,支撑元件能够响应压力而延展变形以耦接阵元焊盘与换能器阵元的导电层;本超声换能器及制造方法,在换能器叠层与柔性板之间设置支撑元件,通过支撑元件的形变,使换能器阵元与阵元焊盘均能良好接触,且增加换能器叠层与柔性板之间的间距,便于切割刀落刀点的选择。
技术关键词
支撑元件
柔性板
叠层
胶黏剂
超声换能器技术
导电层
切割刀
底面高度
导电涂层
正压力
芯片
线阵
元器件
圆球
焊料
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