一种具有清洗液过滤功能的半导体晶圆清洗设备

本发明公开了一种具有清洗液过滤功能的半导体晶圆清洗设备，本发明涉及晶圆清洗装置技术领域，该清洗设备包括柜体、电动转盘、卡盘机械臂、喷淋器、清洗机构和控制面板，电动转盘与柜体转动连接，清洗机构包括箱体，卡盘机械臂、喷淋器、箱体、控制面板均与柜体固定连接，电动转盘、卡盘机械臂、喷淋器、清洗机构均与控制面板通过电信号连接；本发明结合干法湿法多级清洗晶圆，对清洗液过滤自清洁，控制清洗液的流动方向对多片晶圆间隙进行深度清理，大幅提升晶圆的清洁效率。