摘要
本申请涉及芯片转运领域,提供一种芯片转运方法及芯片排片机的芯片转运装置;芯片转运方法包括:将芯片抓取至吸嘴平台上,吸嘴平台上用于承托芯片的支撑部,支撑部的高度高于吸嘴平台;放置于支撑部上的芯片能够完全覆盖支撑部,支撑部上设有吸附孔;检测芯片的位置及姿态;根据检测结果,调节芯片的位置及姿态;根据调节之后芯片的位置,将芯片移动至预设位置,完成转运。本申请解决了吸嘴平台各部位磨损不均进而影响芯片转运的问题。
技术关键词
芯片转运方法
转运装置
视觉检测组件
平台
凸台
步进马达
旋转驱动组件
下压组件
平移驱动组件
台面
压板
检测芯片
复印纸
驱动件
轮廓
环形
接头
凹槽
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