激光加工误差补偿方法及加工系统

本发明公开了激光加工误差补偿方法及加工系统，所述方法包括以下步骤：基于目标加工图形数据，设置激光加工的分解步长和振镜刷新周期，并规划目标轴轨迹和目标振镜轨迹；在加工开始前，驱动所述轴沿一段预设空轨迹移动并记录若干个预设点上的实际运动坐标信息，根据坐标信息预测出轴下一个点位坐标信息；基于所述目标轴轨迹上当前点位的实际坐标信息计算偏差信息，使用偏差信息对轴当前点位和下一个点位之间的轨迹进行修正；基于轴当前点位和下一个点位之间的轨迹的修正信息得到对应振镜轨迹上振镜的修正信息；将所述振镜的修正信息下发给振镜对振镜的实际位置进行补偿，进而开始激光加工。本发明有效补偿各种加工误差，提高加工精度和产品质量。