一种高速高精度的针刺式固晶机及其控制方法

本发明公开了一种高速高精度的针刺式固晶机及其控制方法，属于半导体封装设备技术领域，包括第一驱动机构，第一驱动机构与第二驱动机构连接，第一驱动机构包括第一音圈电机和第一连接结构，第二驱动机构包括第二音圈电机，第二音圈电机与第一针头连接，第一针头通过第二连接结构与第二针头连接，第二针头与弹性固定机构连接，第一针头和第二针头上均设置有压电陶瓷。本发明采用上述的一种高速高精度的针刺式固晶机及其控制方法，设置第一驱动机构和第二驱动机构以及第一针头和第二针头采用轻量化设计，突破传动机械结构效率瓶颈，利用路径规划算法与振动抑制技术，实现高速高精度协同作业，采用FPGA+PLC双控制器架构提升系统响应速度。