一种易研磨环氧功能膜、晶圆级芯片封装结构的制备方法

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一种易研磨环氧功能膜、晶圆级芯片封装结构的制备方法
申请号:CN202511158210
申请日期:2025-08-19
公开号:CN120737552B
公开日期:2025-11-18
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种易研磨环氧功能膜、晶圆级芯片封装结构的制备方法,涉及芯片封装技术领域,易研磨环氧功能膜以质量份数计包括:苯氧树脂10‑15份,邻甲酚型酚醛环氧树脂10‑15份,端羧基丁腈橡胶1‑4份,潜伏型固化剂15‑20份,促进剂1‑3份,角形硅微粉50‑52份和炭黑2份;其中,苯氧树脂的分子量为30000‑35000;本发明通过以苯氧树脂和邻甲酚型酚醛环氧树脂为基体树脂、角形硅微粉为填充剂、并结合端羧基丁腈橡胶、潜伏型固化剂和促进剂,提高环氧功能膜的研磨效率,使其满足自动贴膜机和研磨机的工作要求,从而提高生产效率。
技术关键词
潜伏型固化剂 功能膜 酚醛环氧树脂 羧基丁腈橡胶 苯氧树脂 硅微粉 邻甲酚 固化促进剂 自动贴膜 半导体器件结构 芯片封装技术 芯片封装结构 炭黑 晶圆背面 重布线 研磨机
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