基于新型折叠梁结构的高灵敏度MEMS电容式加速度计及制备方法

本发明涉及MEMS电容式加速度计技术领域的一种基于新型折叠梁结构的高灵敏度MEMS电容式加速度计及制备方法，包括：上盖，其上设置有上固定电容板；下盖，其上设置有下固定电容板；设于上固定电容板和下固定电容板之间的敏感硅结构，该敏感硅结构包括：固定框架、位于固定框架中间的敏感质量块和用于连接敏感质量块与匹配梁的折叠梁，折叠梁为蛇形梁，且采用变截面结构，从与匹配梁连接端到与敏感质量块连接端，截面宽度逐渐减小。本发明通过采用变截面蛇形梁结构，连接端较宽部分，能承受较大加速度，保障结构稳定性；较窄端刚度低，外界加速度作用时，敏感质量块更易位移，促使电容变化更显著，提高了检测灵敏度，兼顾两方面需求。