一种蒸镀设备的加热控制系统

本发明公开了一种蒸镀设备的加热控制系统，加热源，所述加热源和可编程电源相连调节加热功率；晶振膜厚仪：提供膜厚速率控制；人机接口模块：提供参数配置，Recipe下发和PID整定设置；PLC控制器：实时采集热电偶和晶振膜厚仪的数据，并依据HMI下发的Recipe，在功率、温度、速率三种模式间进行切换控制。本发明提供的蒸镀设备的加热控制系统，能够实现蒸镀设备加热系统的自动化精准控制，提高工艺调整的便捷性，避免切换过程中对加热功率造成波动。