一种具有功率监测功能的光功率分配器

本发明公开了一种具有功率监测功能的光功率分配器，该器件兼具光信号功率分配与输入光信号功率探测功能。该器件包括硅基分束器和锗吸收层：其中硅基分束波导利用多模干涉原理使光场沿垂直光传输方向存在稳定的强弱交替。这些强弱交替的电场一方面实现了光信号功率分配；另一方面，位于光场弱分布区域上方的锗吸收层将吸收的光场弱分布区域的光信号转换为电信号，实现了输入光信号功率表征。增加了功率监测功能的光功率分配器没有影响原本的光功率分配光场，所以该器件仍然保持了较低的插入损耗。本发明实现的具有功率监测功能的光功率分配器具有结构紧凑、插入损耗小、功能多样、与标准CMOS工艺兼容等优势，适合在大量使用光功率分配器的大规模光计算芯片、光开关芯片等光芯片中高密度集成。这种多功能器件在光计算、光通信、可编程光路等领域具有广泛的应用前景。