标记单元设置方法、光罩排版设计方法、装置及电子设备

本发明提供了一种标记单元设置方法、光罩排版设计方法、装置及电子设备，标记单元设置方法在确定光罩排版中的目标标记单元以及目标主芯片版图后，根据目标主芯片版图的空置区域，调整目标标记单元，形成满足预设规则的第二标记单元，并将第二标记单元设置于目标主芯片版图的空置区域内。光罩排版设计方法在确定初始光罩排版后，将初始光罩排版中的目标主芯片版图替换成分片芯片版图，以形成最终的光罩排版；其中分片芯片版图为在主芯片版图的空置区域内设置第二标记单元后得到的芯片版图。该方法无需舍弃任何主芯片面积，就能实现标记单元的多种类、多数量的摆放要求，从而有效地提高了光罩面积的利用率。