摘要
本发明的半导体结构包括PMIC芯片和逻辑芯片。PMIC芯片具有第一表面及与第一表面相对的第二表面,第一表面上设置有多个第一焊盘。逻辑芯片具有第三表面及与第三表面相对的第四表面,第三表面上设置有多个第二焊盘,逻辑芯片与PMIC芯片经第二焊盘与第一焊盘键合。本发明的半导体结构的制备方法首先提供一PMIC芯片,具有第一表面及与第一表面相对的第二表面,第一表面上设置有多个第一焊盘。然后提供一逻辑芯片,具有第三表面及与第三表面相对的第四表面,第三表面上设置有多个第二焊盘。最后将逻辑芯片与PMIC芯片经第二焊盘与第一焊盘键合。能够提高集成密度,降低供电损耗及热效应对供电效率的影响。
技术关键词
半导体结构
芯片
逻辑
焊盘
布线
介质
通孔
损耗
密度