一种考虑多层次关系的晶圆制造调度触发决策系统

本发明涉及一种考虑多层次关系的晶圆制造调度触发决策系统，信息收集模块接受来自系统的多维度异构数据；信息处理模块对收集的数据进行编码和预处理；多层次关系感知模块对处理的数据进行关系建模，构建包括物理层、工艺层和调度层的多层次关系模型；调度触发决策模块对多层次关系模型结合深度强化学习进行调度决策和触发，实现预测性触发、事件驱动触发和多层次协同触发；GUI结果输出模块对调度结果和系统状态进行可视化展示。解决了现有晶圆制造调度触发决策系统难以满足晶圆制造的高复杂度需求的问题，本发明能够有效处理晶圆制造过程中的复杂调度问题，提高生产效率和设备利用率，减少生产周期时间，适应动态变化的制造环境。