一种晶圆倒片机

本发明涉及一种晶圆倒片机，包括机箱，机箱上设置有控制系统以及与控制系统信号连接的料盒定位模块、机器人搬运模块以及对中校准模块，料盒定位模块包括负载端口以及料盒翻转机构，料盒翻转机构中安装有FOUP晶圆料盒，机箱的一侧设置有CST晶圆料盒；机器人搬运模块包括多轴伸缩机械臂以及驱动其水平移动的横移轴，多轴伸缩机械臂的一端安装在水平横移轴上，水平横移轴安装在机箱的台面的一侧，对中校准模块设置在机箱的台面上用于晶圆位置对中校准；控制系统控制控制负载端口开启FOUP晶圆料盒并扫描晶圆，然后控制多轴伸缩机械臂将晶圆从FOUP晶圆料盒转运至对中校准模块，在对中校准后控制多轴伸缩机械臂将晶圆放入CST晶圆料盒。