一种光频转换芯片及其制备方法、反射式光频转换系统

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一种光频转换芯片及其制备方法、反射式光频转换系统
申请号:CN202511172687
申请日期:2025-08-21
公开号:CN120676728A
公开日期:2025-09-19
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种光频转换芯片及其制备方法、反射式光频转换系统,涉及半导体技术领域,光频转换芯片包括硅基底及表面阵列排布的多个像元单元;每个像元单元包括支撑结构和吸收辐射层;支撑结构包括接触层和两个支撑腿;吸收辐射层位于接触层背向硅基底的一侧表面,接触层在硅基底上的投影完全覆盖吸收辐射层在硅基底上的投影,接触层与硅基底之间存在间隔空间;接触层与支撑腿连接,支撑腿位于硅基底的第一表面且位于接触层相对顶角的侧部;像元单元为S形。本发明解决了芯片分辨率较低,像元的散热面较大难以升温导致表观温度降低的问题,可以提高像元单元的升温速度,降低相邻像元之间的热串扰,提高图像的刷新频率、分辨率和表观温度。
技术关键词
光频转换系统 基底 接触层 芯片 冷却液 胶合棱镜 双波段 冷却管道 热沉 支撑腿 增透薄膜 真空腔室 透光 可见光图像 镀膜工艺 阵列 入口
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