一种用于金属的表面质量检测方法及系统

本发明公开了一种用于金属的表面质量检测方法及系统，涉及金属表面质量检测技术领域。用于解决高反射表面微缺陷检测精度低、工艺参数关联性弱及闭环控制缺失问题。通过多角度相干光场序列化照射金属表面，解析干涉条纹相位偏移量生成三维形貌数据，抑制反射噪声干扰。基于工艺参数约束的动态分割提取缺陷深度梯度，通过反卷积计算量化沉积温度与压力偏差，构建工艺偏差特征分布。利用有限元仿真生成工艺‑形貌映射图谱库，通过深度约束流形对齐与对比学习提取跨域不变性特征，建立缺陷类型与工艺参数的因果关联模型。根据权重梯度动态调整工艺参数并回流数据更新流形规则。实现了高精度三维缺陷检测、工艺偏差溯源与自适应参数优化。