摘要
本申请公开了一种滚磨方法及滚磨设备,该滚磨方法包括:获取晶棒的晶向轴的位置,并基于预存的晶棒的生长轴的位置,确定晶向轴与生长轴的第一夹角;获取晶棒的三维模型;基于三维模型以及第一夹角,驱动磨削件活动,以使得磨削件能够沿预设路径对晶棒进行滚磨,预设路径上的每一点与晶向轴的最小距离均一致。该滚磨设备能够执行上述滚磨方法。通过上述设置,可以提高晶棒切片的成品率。
技术关键词
滚磨方法
三维模型
磨削机构
直线驱动
控制模块
扫描模块
连线
基准面
定义
滚磨设备
晶棒切片
圆盘结构
驱动件
轮廓
轴心