一种晶圆分选机

本发明提供一种晶圆分选机，本发明涉及晶圆生产技术领域，包括承载底座，位于承载底座上端的搬运装置、分选装置以及检测装置，所述承载底座上端还设置有限位晶圆的第一限位组件，以及限位料盘的第二限位组件，所述分选装置位于第一限位组件和第二限位组件之间，所述分选装置包括第一分选轮和第二分选轮，所述分选轮均包括轮体以及多个围绕轮体弧形表面圆周等距分布的吸盘，所述轮体第一侧平面固定有驱动转轴，第二侧平面设置与多个吸盘连通的负压组件。该发明多个芯片在输送转运的过程中自动完成检测，提高了检测的效率，芯片偏转角度较大，保证检测结果的准确。