基于黑色绒布贴装的AOI背检反光抑制方法

本发明公开了基于黑色绒布贴装的AOI背检反光抑制方法，涉及AOI检测技术领域，包括：将待检测硅片放置在银灰色铝材载台上；启动AOI设备采集背景图像；选择黑色绒布作为反光抑制材料；银灰色铝材载台的中心检测区贴装黑色绒布，光源直射区采用底层反光贴结合表层黑色绒布的双层结构；贴装完成后，重新采集背景图像；对采集到的背景图像进行缺陷识别，输出检测报告。本发明通过黑色绒布的物理吸光特性，降低载台反光区域平均灰度值，有效消除高强度镜面反射干扰，且贴装后背景灰度与硅片边缘灰度差异显著，图像分析软件可通过设定最小识别灰度阈值实现精准寻边，同时，黑色绒布能够提升背景灰度稳定性，减少灰度波动对阈值分割算法的干扰。