一种集成微通道结构的半导体激光器液冷散热装置

本发明涉及一种集成微通道结构的半导体激光器液冷散热装置，包括由上至下布置且固定连接的盖板和激光器壳体，其中，盖板上连接有冷却液接头，以实现冷却液的流入和流出，激光器壳体朝向盖板的一侧或盖板朝向激光器壳体的一侧设有微通道凹槽，激光器壳体背向盖板的一侧设有第一凹槽，第一凹槽用于安装激光芯片以及布置光学元器件，微通道凹槽在垂直方向上的投影区域至少覆盖第一凹槽的整体区域，以适配第一凹槽内任意功能结构的布置和散热需求。与现有技术相比，本发明能够实现对半导体激光器的高效液冷散热，并且适用于多种激光器芯片布置方案，具有结构紧凑、散热效率高、适应性强的优点。