摘要
本发明涉及一种用于半导体激光器的微通道液冷散热装置,包括由上至下布置且固定连接的盖板和激光器壳体,其中,激光器壳体朝向盖板的一侧或盖板朝向激光器壳体的一侧设有微通道凹槽,盖板的短侧面和长侧面分别开设有冷却液第一接口和冷却液第二接口,盖板朝向激光器壳体的一侧设有第一引流孔和第二引流孔,第一引流孔和第二引流孔分别与微通道凹槽相连通,冷却液第一接口与第一引流孔相连通,冷却液第二接口与第二引流孔相连通。与现有技术相比,本发明能够高效覆盖芯片热源区域,提高散热效率及冷却效果,且具有结构紧凑、密封性好、适配性强等优点。
技术关键词
激光器壳体
液冷散热装置
半导体激光器
冷却液
通道
安装平台
密封垫片
毛细
肋柱
接口
凹槽
安装密封垫
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