pH传感器及其制备工艺

本申请实施例提供一种pH传感器及其制备工艺，涉及传感器技术领域。该pH传感器制备工艺包括以下步骤：在电极芯片衬底上沉积电极材料层，形成电极模块；在敏感芯片衬底上沉积敏感层，形成敏感模块；对所述敏感模块进行热处理；将所述电极模块与所述敏感模块电连接，形成欧姆接触；将所述电极模块和所述敏感模块封装。该制备工艺降低了热处理造成敏感层脱落的可能性，提升了pH传感器的使用稳定性，延长了pH传感器的使用寿命。