基于PSO-SVM的ATE内嵌式晶圆缺陷检测方法及装置

本说明书实施例提供基于PSO‑SVM的ATE内嵌式晶圆缺陷检测方法及装置，其中方法包括：获取历史数据并进行标注确定标注历史数据，以及建立基准缺陷检测模型；基于标注历史数据进行整合确定原始数据集，并对原始数据集进行特征工程与数据规范化确定目标数据；基于目标数据和基准缺陷检测模型进行PSO‑SVM联合优化训练，确定SVM缺陷检测模型；获取实时测试数据，基于实时测试数据和SVM缺陷检测模型进行缺陷检测，确定缺陷检测结果。通过构建基于CP测试过程中产生的动态电性参数的高维特征向量，并利用PSO‑SVM模型进行高效分类，实现对晶圆缺陷的早期、智能识别。