摘要
本申请提供一种发光结构及其制备方法,所述制备方法包括:制备发光芯片晶圆,发光芯片晶圆包括衬底、衬底上方的外延层和外延层上方的发光芯片,发光芯片的数量为多个,各发光芯片之间具有隔离结构,隔离结构底部与衬底接触,将相邻发光芯片下方的外延层断开;将衬底制备为透镜形状,并根据透镜形状的衬底,对外延层进行刻蚀,以在发光芯片晶圆上制备透镜结构;将发光芯片晶圆切割成发光芯片晶粒;另行制备驱动芯片晶粒,将发光芯片晶粒和驱动芯片晶粒键合,得到所需的发光结构。本申请发光结构及其制备方法,全程只有一次单芯片键合,对位不容易出现累积偏差,整体工艺难度较低,能够确保制备得到的发光结构产品品质较好,性能较好。
技术关键词
发光芯片
发光结构
驱动芯片
衬底
隔离结构
透镜结构
外延
晶圆
黑胶
光刻胶
上沉积
紫外光
导电
透明基板
球形
焊料
偏差
包裹