氮化硅光波导的非易失性、可逆折射率调控方法及装置

本发明公开了一种氮化硅光波导的非易失性、可逆折射率调控方法及装置，方法包括：采用光学系统对氮化硅光子芯片中的待调控氮化硅光波导进行局部照射，形成类圆形光斑或类矩形光斑；将类圆形光斑或类矩形光斑沿着待调控的氮化硅光波导移动；利用光斑移动的距离和辐照的剂量调控氮化硅光波导折射率变化的长度和幅度。本发明通过光学手段进行氮化硅光波导折射率调控，无需额外的下料、金属连接、遮挡设计，避免了相变材料、金属等带来的额外损耗，一定程度上降低了成本，具有很强的适应性和经济性。