摘要
本发明涉及智能工业机器人技术领域,具体的说是一种半导体硅晶棒转移运输装置,包括支撑座、旋转结构一、高度结构、旋转结构二、角度调节结构、控制结构、吸附结构、夹持结构、硅晶棒、对接架和视觉相机。角度调节结构的设置便于调节硅晶棒的角度,便于根据实际情况将硅晶棒放置在对应位置,操作便捷性高,连接架上固定有视觉相机,视觉相机的设置便于自动捕捉硅晶棒的夹持位置,提高了稳定性能,对接架的底端设有吸附结构和夹持结构,吸附结构的设置便于吸附硅晶棒的侧壁,对硅晶棒进行定位,同时便于清理硅晶棒上的废屑,防止刮花硅晶棒,防止夹持工装与硅晶棒对应位置偏差造成硅晶棒产生周向转动,提高了硅晶棒的夹持效果。
技术关键词
运输装置
角度调节结构
旋转结构
吸附结构
半导体
夹持结构
视觉相机
智能工业机器人技术
控制结构
控制箱
传动杆
旋转座
滑片泵
夹持工装
气管
端子
支撑座
防滑块
联动杆
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