垂直微镜结构的光计算芯片及其晶圆级智能制造方法

本发明公开了垂直微镜结构的光计算芯片及其晶圆级智能制造方法，该光计算芯片包括若干光调制器和若干量子逻辑门，基于垂直微镜设置光调制器中的干涉光路，从而实现光调制；量子逻辑门通过垂直微镜设置的反射镜构建稳定光路，利用分束器实现干涉，并由目标光路入口或出口的波片执行哈达玛变换，从而实现光计算；采用深沟槽分束器或深墙分束器作为分束器，深墙分束器中硅墙垂直于衬底的两个侧壁设置成预定夹角，深沟槽分束器通过如下方式制造：在单晶硅晶圆的表面进行光刻出深沟槽的图形；用深刻蚀方法刻出具有预定角度的深沟槽并进行侧壁平滑；在深沟槽中沉积光学薄膜；光刻并深刻蚀出深沟槽分束器的外形并侧壁平滑；在垂直侧壁生长光学增透膜。