基于多维关联性分析的工艺步骤定位方法和装置

本发明公开了一种基于多维关联性分析的工艺步骤定位方法和装置，方法包括以下步骤：收集CP测试项数据及工艺步骤参数的历史数据；对历史数据进行清洗与特征工程处理；并行执行卡方检验、相关性分析及树模型分析，分别输出卡方显著性结果、相关性系数及特征重要性排序；基于卡方显著性结果、相关性系数绝对值及特征重要性排序，计算各工艺步骤的综合关联度；根据综合关联度定位导致CP测试异常的工艺步骤。本发明能够整合多维度分析结果、精准定位异常工艺步骤。