摘要
本发明提供了一种3D封装结构,其可减少无源器件在基板侧的占位,增加无源器件的可放置区域,增加了芯片的集成度,且能缩短无源器件到芯粒的距离,提高封装的互联可靠性和组装性。其包括:塑封层;芯粒;钝化层;金属重布层;以及至少两个无源器件,其包括位于塑封层内的第一无源器件、以及位于塑封层外的第二无源器件;所述塑封层的面域内封装有至少一个第一无源器件、芯粒,所述第一无源器件设置有相对于塑封层外凸的第一金属PAD,所述芯粒设置有相对于塑封层外凸的第二金属PAD,所述第一金属PAD、第二金属PAD上设置有若干层钝化层、金属重布层,中间层的金属重布层将第一金属PAD和第二金属PAD连接。
技术关键词
无源器件
封装结构
封装方法
重布线层
中间层
光刻
球网
包封
晶圆
电感
电容
芯片
玻璃
基板