一种银金铂钯铜铼合金及其制备方法与应用

本发明公开了一种银金铂钯铜铼合金及其制备方法与应用，属于半导体检测用精密材料技术领域。本发明合金成分组成按质量百分比计包括：Au：20%~25%、Pt：8%~12%、Pd：5%~8%、Cu：3%~5%、Re：0.3%~0.8%，余量为Ag。本发明利用Ag‑Au无限固溶体为基体，引入Pd‑Cu复合强化体系与Re微合金化调控技术，使Pd与Pt形成连续固溶体提升高温稳定性，Re通过晶界偏聚效应细化晶粒至5~8μm；采用真空‑气氛交替熔炼结合多场协同时效，诱导纳米至微米级第二相均匀析出，实现位错强化与第二相强化的协同作用，并通过表面强化抵御插拔过程中的摩擦磨损，且不影响合金导电性能。最终使探针材料硬度达到430~450HV，电阻率达到4×10‑8Ω•m以下，插拔寿命达到3~5万次，具备优异的综合性能，适用于芯片的高精度检测场景。