一种跟踪式激光扫描仪精度校准方法

本申请涉及激光扫描仪技术领域，尤其涉及一种跟踪式激光扫描仪精度校准方法，包括：从标准块规套装中选取相应厚度的标准块规，通过研合构建间隙模拟试件或阶差模拟试件；使用高精度计量设备采集模拟试件的基准值，驱动待校准的跟踪式激光扫描仪在多个测量位置对模拟试件进行多次扫描，记录原始测量数据；基于所述基准值与所述原始测量数据，计算测量误差及重复性误差，评估跟踪式激光扫描仪的测量精度；若测量精度不满足预设标准，通过多距离数据采集建立分段误差模型，标定补偿参数并实时动态修正测量值。本申请能够提升跟踪式激光扫描仪测量间隙和阶差的精度，成本低且操作便捷。