晶圆级惯性器件批量测试用的探针卡板、系统和方法

本公开提供了一种晶圆级惯性器件批量测试用的探针卡板、系统和方法，属于晶圆级惯性器件测试技术领域。探针卡板包括：卡板主体；多个探针组，位于卡板主体上，用于与惯性器件晶圆上的多个MEMS惯性器件的焊盘相连，探针组包括：至少一对差分激励信号传输用探针对和至少一个反馈信号传输用探针；与差分激励信号传输用探针对一一对应的多个第一单端信号转差分模块，第一单端信号转差分模块的两个差分信号输出端分别与对应差分激励信号传输用探针对中的两个探针相连；电容电压转换电路模块，配置有与反馈信号传输用探针一一对应的多个电容信号输入端和与电容信号输入端一一对应的多个电压信号输出端，电容信号输入端与对应反馈信号传输用探针相连。