摘要
本公开涉及一种三自由度角位移测量方法及装置,所述方法包括基于倒置数字剪切散斑干涉法,测量得到由被测物面角位移所引起的两个相位差分布图;基于所述两个相位差分布图,确定所述被测物面的三自由度角位移,其中,所述三自由度角位移包括:俯仰角、偏摆角和滚转角。根据本公开实施例可以有效实现对被测物面三自由度角位移的无靶镜测量,且具有较高测量精度。
技术关键词
数字剪切散斑干涉法
角位移测量方法
光束
包裹相位
特征点
相位解包裹方法
子模块
镜像对称
激光
偏振态
反射光
波长
图像传感器
算法
坐标
数学模型
中心对称
轴对称
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