一种光刻机静电消除装置

本发明涉及光刻机静电消除技术领域，尤其是一种光刻机静电消除装置，包括，运输组件，包括有动力机构、设置于所述动力机构外壁的机械臂和设置于所述机械臂外壁的晶圆手，伸缩组件，包括设置于所述晶圆手外壁的第二传动轴、设置于所述第二传动轴外壁的轴壁、设置于所述轴壁内部的转盘、设置于所述转盘外壁的滑槽和设置于所述滑槽内部的静电棒，本发明通过静电棒伸展，加大对晶圆的消除静电作用，降低静电防护盲区，同时机械臂收缩的收缩还会喷水，对晶圆附近的灰尘杂质进行快速清除，同时增加静电棒的除静电效果，并且增加了晶圆臂对晶圆的吸附效果，防止运输过程中晶圆的掉落与晃动。